一、氮?dú)饧兌炔粔蚧蛘咴O(shè)備性能故障

　　可能原因：1、進(jìn)氣壓力不夠——調(diào)整進(jìn)氣壓力設(shè)定

　　2、電路故障——確定電源連接，顯示屏顯示正常，檢查高純度制氮機(jī)是否循環(huán)正常

　　3、碳分子篩（CMS）污染——解決污染原因，檢查進(jìn)氣過濾（例如氣水分離器排液故障），更換吸干機(jī)的吸附劑和碳分子篩，不能繼續(xù)使用

　　4、空氣消耗量過大——確定高純度制氮機(jī)性能滿足系統(tǒng)要求和氮?dú)廨敵鲂枨?br/>
　　5、進(jìn)氣溫度過高——檢查技術(shù)參數(shù)（移除熱源）

　　6、再生氣不足——聯(lián)系服務(wù)人員調(diào)整設(shè)定

　　7、再生氣消音器堵塞——更換消音器，如果問題還存在，要及時(shí)詢問技術(shù)人員

　　二、高純度制氮機(jī)循故障

　　可能原因：1、控制器工作不正?！_?？刂破鞴╇娬＃瑱z查屏幕上吸附筒的工作狀態(tài)確保電磁閥供電正常

　　2、控制器不顯示——檢查供電和熔斷器

　　3、進(jìn)氣壓力不足——進(jìn)氣壓力最小88psig（6barg），如果壓力不足，檢查進(jìn)氣壓力設(shè)定

　　4、再生泄壓失敗——電磁閥工作不正常，如果電源供給閥芯正常，更換電磁閥。正常工作的電磁閥有咔噠的聲音

　　5、輸出停止——檢查供氣是否正常，純度控制閥和氦氣純度（檢查報(bào)警狀態(tài)）

　　三、持續(xù)泄壓

　　可能原因：1、高純度制氮機(jī)初始化失敗——重啟高純度制氮機(jī)，確保制氮機(jī)在通電前已經(jīng)加壓完成并初始化

　　2、異常反吹氣——閥門損壞，需要維修